Igwe ọkụ akpaaka na njikwa iru mmiri
A na-ekpebikarị ọnọdụ okpomọkụ na iru mmiri nke ime ụlọ dị ọcha dị ka usoro a chọrọ, ma n'okpuru ọnọdụ nke usoro a chọrọ, ekwesịrị iburu n'uche nkasi obi mmadụ.Site na mmụba nke ịdị ọcha ikuku chọrọ, enwere usoro na usoro ahụ nwere ihe ndị ọzọ siri ike chọrọ na okpomọkụ na iru mmiri.
Ka izi ezi nke igwe na-akawanye mma, ihe ndị a chọrọ maka oke mgbanwe okpomọkụ na-adịwanye ntakịrị.Dịka ọmụmaatụ, na usoro ikpughe lithography nke nnukwu mmepụta sekit agbakwunyere, ọdịiche dị n'etiti ọnụọgụ mgbasawanye ọkụ nke iko na silicon wafer dị ka ihe nke diaphragm chọrọ ka ọ dị ntakịrị ma dị ntakịrị.Igwe ọkụ silicon nke nwere dayameta nke 100μm ga-eme ka mgbasawanye ahịrị 0.24μm mgbe okpomọkụ na-ebili site na 1 ogo.Ya mere, ọ ghaghị inwe okpomọkụ nke ± 0.1 degrees.N'otu oge ahụ, a na-achọkarị ọnụ ahịa iru mmiri ka ọ dị ala, n'ihi na mgbe ọsụsọ na-agba mmadụ, ngwaahịa ahụ ga-emetọ ya, karịsịa Maka ụlọ ọrụ semiconductor na-atụ egwu sodium, ụdị ogbako dị ọcha ekwesịghị gafere 25 degrees.
Oke iru mmiri na-akpatakwu nsogbu.Mgbe oke iru mmiri gafere 55%, condensation ga-apụta na mgbidi nke ọkpọkọ mmiri jụrụ oyi.Ọ bụrụ na ọ na-eme na ngwaọrụ ma ọ bụ sekit ziri ezi, ọ ga-ebute ihe mberede dị iche iche.Ọ dị mfe nchara mgbe iru mmiri dị 50%.Tụkwasị na nke ahụ, mgbe iru mmiri dị elu, ájá dị n'elu nke silicon wafer ga-eji kemịkal mee ka mmiri dị na ikuku na-ekpuchi elu, nke siri ike iwepụ.N'ịdị elu nke iru mmiri dị elu, otú ahụ ka ọ na-esiwanye ike iwepụ adhesion, ma mgbe iru mmiri dị ala karịa 30%, a na-etinyekwa ihe ndị ahụ ngwa ngwa n'elu n'ihi ọrụ nke ike electrostatic, na ọnụ ọgụgụ dị ukwuu nke semiconductor. ngwaọrụ na-adịkarị mfe imebi.Ọnọdụ okpomọkụ kachasị mma maka mmepụta silicon wafer bụ 35 ~ 45%.
